特徴
- 超微細メッシュや超微細回路の製作に適している。
- 残留応力も結晶の方向性も無く、平面性と均一性に優れている。
- 試作から量産までさまざまなニーズに対応しています。
加工可能な材質
ニッケル、銅、金、白金、パラジウム、鉄、ニクロム等
加工精度
- 線間1μ、線幅1μのパターンの場合、製品はサブミクロンの精度も可能
- 厚さ0.1μ~2000μ 0.1%の精度で厚さをコントロール可能
適用分野
加工工程
- マスク設計
↓ - パターン描画
↓ - レジスト塗布
↓ - 露光
↓ - 現像
↓ - 電鋳加工
↓ - レジスト膜除去
↓ - 剥離
↓ - 検査